洁净室静压差检测简介

此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内外气流间被污染。
(I) 检测要求
①静压差的测定要求在洁净区内的所有的门全部关闭情况下进行。
②在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
③测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。
④所测量记录的数据应精确到 O. lPa 。
(2）检测方法
①先关闭所有的门。
②用微差压计测量各洁净重之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
③记录所有数据。
(3）测量仪器
采用 YJB-150 补偿微压汁，量程0～500Pa 或其他微压力计，仪表灵敏度小于 0.1Pa。
(4）合格标准
接照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
①不同级别的洁净室或洁净 室与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于 4.9Pa 。
②洁净室（区）与室外的静压差，不应小于 9.8Pa。
③对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内0.6m 处的 室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
④若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量．排风量，至合格为止。



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