濾網洩漏測試(2)

　
　




a. 每一濾網和其邊框均需測試。

b. 濾網之表面時，將探漏器擺設如圖(b)，用短邊方向前進，覆蓋全濾網

c. 掃描濾網邊框時，尤其濾網與Ceiling Grid之間，探漏器擺設可以如上圖（a）或（b），涵蓋全部接縫。

d. 利用微粒計數器之方錐形(10mm*60mm)採樣器置於濾網下25mm左右，以50mm/sec速度儀動。

e. 氣膠光度計上的讀數是上下游百分比值，因此若是數值大於0.01，即可懷疑為洩漏，可退回約100mm反覆再測，如果沒有持續高讀數，則可繼續測試，反之即為有洩漏，需作記錄且日後修補或更換。

6. 濾網若有破損則應修補或更新，然後重新再測。

7. 邊框若有洩漏，應重新安裝、調整，直到無洩漏為止。

8. 記錄時必須登記掃描結果，洩漏狀況與處理方式。



4. 驗收基準



1. 凡是連續性讀值超過0.01﹪視為洩漏，每一片濾網測試及修換後均不得有洩漏，邊框也不得有洩漏。

2. 每一片濾網的修補面積不得大於濾網面積的3。

3. 任何修補長度不得大於38㎜（1.5英吋）。





二、微粒計數器測試法



1. 說明



半導體業方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計，但是隨著製造精密度增加，油性挑戰微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現使用乾式灰塵當成挑戰微粒，在上游施放，然後用微粒計數器在下游掃描，尋找洩漏，基本概念完全相同。經過科學家一步步研究結果，發現PSL因為微粒的粒徑與濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標準微粒。使用時只要把PSL溶液霧化，導入濾網上游即可。



2. 測試儀器



微粒計數器測試法使用儀器是微粒計數器、微粒稀釋器與微粒產生器，微粒計數器每一年要校正一次，微粒稀釋器與微粒產生器不用校正，但是微粒稀釋器要定期保養以免阻塞。



3. 測試方式



測試步驟與氣膠法相同，大致上是施放微粒並檢查濃度、濾網與邊框掃描以發現洩漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下。



1. 在圖面上記錄濾網數量並編號。

2. 確定空調系統正常運轉並可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。

3. 使用微粒產生器在上游施放挑戰微粒，將霧化的 PSL 打入濾網上游，同時使用微粒計數器監視上游的微粒濃度，使微粒濃度達到每立方英尺至少有80萬顆微粒，並且維持該濃度直到掃描完畢為止。為保護微粒計數器，一般會在微粒計數器空氣吸入口加裝固定倍率的微粒稀釋器。

4. 上游微粒濃度確認後，就可以在濾網表面掃描，尋找洩漏，必要時濾網四周可用塑膠簾覆蓋以確保測試之準確。掃描時探漏器離濾網的距離是25㎜。

5. 微粒計數器測試法的掃描速度，是一個上游濃度的函數，不是一個定值，其計算公式如下：