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环保工程施工
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高纯洁净气体管道中的输送意义洁净气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点,为了达到仪器对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并注明管道材质 洁净气体管路的材质则依使用的需求进行选择,316L BA管常使用于和芯片接触但不参与过程反应的气体。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。
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只看楼主 我来说两句抢地板环境地质学 陈余道,2004
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