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洁净车间发生静电带来的危害洁净车间也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 一、LCD生产洁净车间静电库仑力吸上粉尘、污物带给无器件,增大泄漏或造成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径大于100pm、铝线宽度约10(Vm、氧化膜厚度在50pm时,最易使产品报废;现在线径更细,氧化膜很薄,很小粒径尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
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