洁净车间发生静电带来的危害

　　洁净车间也叫无尘车间、洁净室(Clean Room)、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
　　一、LCD生产洁净车间静电库仑力吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径大于100pm、铝线宽度约10(Vm、氧化膜厚度在50pm时，最易使产品报废;现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
　　二、静电放电
　　1)元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融断。若人体带上10kV(100PF)的静电荷，触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10〜100s)，此时，就连一般的IC、MOS都会遭受损坏。
　　2)造成噪声、发射电磁波干扰。ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量，频率跨越几MHz、甚几百MHz的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起晶片处理机死机。
　　3)电击人体。人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时，人都会有各种伤害感觉,造成工作人员的情绪不安，以导致操作错误。半导体、平面显示器、光电子等洁净室，尽管做了很多工作，但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品、产量，影响着制造成本和效益，影响产品的质量和可靠性。