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差动电容式压力传感器近年来随着电子技术的发展,可在密封系统内将压力变为微小位移再引起电容的变化,并采用转换电路.将变化的电信号输出。差动电容压力传感器,用来检测低羹程从0到0.1(10‘Pa)的压力,响应速度为100ms。这种传感器的敏感元件是一个很两金屑的弹性膜片,安装在两个凹形酌玻璃片之间。当膜片承受两面输入的压力后,膜片就向压力小的方向产生变形,因此膜片与较鸦片内侧的金届膜层之间的电容量就发生变化。由于这个敏感元件对工作范围没有加以限制,一旦产生压力差,金属膜片就会贴到玻璃表面上,因此玻璃片的金属表面要有绝缘,这种变换器纳分辨卒实际上是无限酌。
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