差动电容式压力传感器

近年来随着电子技术的发展，可在密封系统内将压力变为微小位移再引起电容的变化，并采用转换电路．将变化的电信号输出。差动电容压力传感器，用来检测低羹程从0到0．1（10‘Pa）的压力，响应速度为100ms。这种传感器的敏感元件是一个很两金屑的弹性膜片，安装在两个凹形酌玻璃片之间。
当膜片承受两面输入的压力后，膜片就向压力小的方向产生变形，因此膜片与较鸦片内侧的金届膜层之间的电容量就发生变化。由于这个敏感元件对工作范围没有加以限制，一旦产生压力差，金属膜片就会贴到玻璃表面上，因此玻璃片的金属表面要有绝缘，这种变换器纳分辨卒实际上是无限酌。
另一种差动电容压力传感器、用一个很薄的不锈钢膜片，由两个不锈钢环央紧，膜片与两个电权构成电容，分别为C1和C。如果作为绝对压力测量，就要把膜片的一面抽成其空。在差动情况下，膜片的两面都通人气体，这样可以测量压力差。我们可以用双T网络把由于压力差所引起的差动电容转换成输出电压。差动电容式压力传感器的测量电路需用交流电源，由于检测电路部分装入密封液内，故必须掌握使电路部分受密封液的导电率变化和杂散电容的影响最小的技术。反之，由于可在密封系统内进行压力“电信号转换，故与力平衡方式相比，可谋求小型化和轻量化，并设法减少结构的部件数，也能提高各种特性及其可靠性。