现有洁净室气流不均匀探讨等

目前我有个已施工完成10000级别的洁净室，面积950m2，长30m,宽近30m，吊顶高度3m，循环机组单侧布置，工艺设备发热量很大。
原设计：总循环风量为163200m3/h,新风量为130000m3/h，工艺排风近110000m3/h，平均面风速0.047m/s。
工艺设备要求采用高架地板，高架地板开孔面积47m2，回风速度1.2m/s,单侧经高架地板后回风至机组。详见截图1和图2。
现状：业主将高架地板开孔面积擅自提高到了105m2，目前高架地板孔口回风速度0.53m/s，气流速度不均匀，产品合格率仅为70%，寻找是不是气流不均匀造成合格率低的原因。
现测试已达到100000净化级别，甚至达到10000级，温湿度无问题，就是气流不均匀。
请问：1.现状高架地板回风孔口速度太低，仅为0.53m/s，是不是过小会造成车间内容易积灰？回风速度过小针对本案例会有有什么影响？
2.单侧回风，远离循环机组的车间面风速明显偏低，仅为0.1m/s，甚至为0.01m/s，而靠近循环机组的气流速度可以达到0.5m/s.
如果采取减小高架地板面积，同时，增加远离机组的高架地板面积，减小靠近循环机组的高架地板面积，能否提高远离循环机组区域的回风速度？
3.因现场条件限制，无法增加回风夹道等，仅从风量平衡调节角度有没办法提高气流的均匀性？
4.采取其他什么措施以提高气流均匀性？
谢谢各位了。