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洁净空调系统
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小弟新手，请教，4吋晶圆厂（芯片最小特征尺寸1.5μm),净室需要控制的环境参数，请各位高手指点。
遇到了一点小问题
内容不能包含下列词语
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只看楼主 我来说两句 抢板凳