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洁净空调系统
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如题！小弟最近接了个食品厂的洁净厂房项目，净化空调部分都搞定了！只是原来我们常用的是臭氧消毒，现在业主指定要加装紫外灯。之前没接触过。跪求达人帮忙！
遇到了一点小问题
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只看楼主 我来说两句-
liuyo5678
沙发
这个和面板厂的环境条件差不多，面板厂的湿度一般设定在50%+-5%
2011-03-28 19:44:28
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poorpc
板凳
我做过8寸晶圆的soi 工序。工序：注入-氧化-裂片-清洗-键合-测试。温湿度基本为23±1,45%±5%。最高净化级别为10级。给你参考
2011-03-07 10:26:07
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