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洁净空调系统
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芯片厂，漂片工序，千级。今天发现0.5UM颗粒达到几十万，最好时有二百，测高效无泄漏。房间无泄漏，送风量，压力均符合要求。设备也没发现泄漏。查了一天没有找到原因，想各位大侠求救。
遇到了一点小问题
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只看楼主 我来说两句 抢板凳