电子厂洁净度超标的问题，求教

我觉得是HEPA安装泄漏的因素比较多一些。
有试过天花开孔较大没做好密封的案例。

注意排查各粒径的粒子特征，是否其他的粒径粒子也超标；根据数量异常的粒子粒径可进一步结合现场条件判断出是HEPA泄漏还是房间有发尘源。

仪器和测法正常的情况下：
如果大粒径明显持续超标就很大可能意味着HEPA的泄漏；

而只有小粒径的明显异常一般不要考虑HEPA泄漏，主要考虑室内人为或工艺异常而产生的尘埃！
基于你的描述，洁净室管制是否严格一般应该予以重点考虑：保洁是否到位、藏污纳垢处是否存在死角、人员更衣管制是否严格。同时工艺条件（人流物流、工艺辅料）是否与原来有明显变化；系统回排风是否异常；送风量是否有明显衰减……都排查一下。