洁净室技术的发展

论文简介：

洁净室技术的各个组成部分机器相互关系
首先，必须进行设计并建造出洁净室。为此，必须考虑：
（1）应采用什么设计标准；
（2）做何种设计平面布置图、使用何种建筑材料；
（3）如何向洁净室提供各种设施。
其次，洁净室已安装好并工作时，必须测试其是否符合设计规定。应在洁净室的寿命期中继续对其进行监测，以确保其仍然达到规定的设计要求。
最后，洁净室必须正确运行，这样所制造的产品才不至于受到污染。这就要求从人员与材料的入场，到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施。



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