磁悬浮转子真空计的测量原理及特点

磁悬浮转子真空计的测量原理及特点

一、磁悬浮转子规的测量范围

磁悬浮转子规的测量范围为1*10^-6Torr~1*10^-2Torr,该真空规测量与气体组分有关。

二、磁悬浮转子规的测量原理

磁悬浮转子真空计由真空腔、转子、磁悬浮系统和传感器组成。真空腔是一个密封的空间，用于保持真空环境。转子是一个轻质的圆盘状物体，通过磁悬浮系统悬浮在真空腔内。磁悬浮系统由电磁铁和磁体组成，通过控制电磁铁的电流来调节转子的悬浮高度。传感器用于测量转子的悬浮状态，从而得到气体压力的信息。

在工作过程中，当气体进入真空腔时，使转子发生微小的位移。这个位移会导气体分子与转子碰撞，致磁悬浮系统对转子施加一个力，使转子重新回到平衡位置。这通过测量磁悬浮系统对转子施加的力可以间接得到气体压力的大小。

（磁悬浮转子规，图源网络）

三、磁悬浮转子规的特点

1.该真空计内部没有电子、离子、热和辐射产生，测量时改变气体成分和压力，吸放气现象可以忽略，无抽气效应，具有测量准确度高、线性好、重复性和长期稳定性好、结构简单等优点，可以用于单一气体和已知浓度比例的混合气体的测量。

2.磁悬浮转子真空计具有高精度和快速响应的特点。由于转子悬浮在真空腔内，减少了气体分子与转子之间的碰撞，从而减小了测量误差。同时，磁悬浮系统可以快速调节转子的悬浮高度，使得测量响应速度更快。

3.除了高精度和快速响应外，磁悬浮转子真空计还具有较宽的测量范围和良好的稳定性。通过调节磁悬浮系统的参数，可以适应不同压力范围的测量需求。同时，磁悬浮系统的稳定性较高，可以长时间保持转子的悬浮状态，提高了测量的可靠性。