真空系统组成元件

2.1真空阀门

2.1.1真空阀门的分类与型号

在真空系统中,用来切断或接通管路气流,改变气流方向及调节气流量大小的真空系统元件称为真空阀门。

真空阀门的主要性能包括流导、漏气率、开闭动作的准确性和可靠程度,以及阀门的开闭时间。阀门的流导和漏气率的测试方法参见相关专业标准。阀门的准确性、可靠程度和开闭时间,则应根据具体的使用情况提出具体的要求。

真空阀门种类繁多,在设计真空系统时,应根据用途、尺寸、性能、结构等进行选择。国产真空阀门的型号是按其性能、结构形式、驱动方式、通道方式及通道直径大小、材料和用途等进行分类的,见表2-1。

表2-1真空阀门的分类

真空阀门的型号是按如下顺序和内容确定,基本型号包括①②③、辅助型号包括④⑤⑥,各符号所采用的字母及代表意义见表2-2。

表2-2真空阀门的型号

例如型号为DDCJ50Q,表示的是低真空挡板式电磁阀,直角式,公称直径50mm,带充气功能阀门。这种阀多用于机械泵的进气口上,停泵时阀门关闭,切断系统的通道保持系统内的真空,同时给机械泵泵腔内放入大气,以防止机械泵返油。

2.1.2真空阀门的作用

真空阀门在真空系统中的作用是:

(1)开关气路。如图2-1所示,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵8对容器粗抽真空,气流流经真空粗抽管路。当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵6预抽真空。当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽真空,此时气流流经扩散泵。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。

(2)控制气流大小,调节真空度。在图2-1中,通过调节阀门1的阀盖的开启角度,即可调节流经管路的气流量大小;真空泵停止工作时关闭阀2和阀4,通过放气阀3可以给机械泵的入口放大气,防止真空泵油的返流;通过调节阀5可以调节容器内的真空度。

(3)定量充气。如图2-2所示,在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞,当小洞转向右边和高压气瓶连通时,小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时,就把该体积的高压气体放进容器中去,这样就起到了定量充气的作用。

图2-1真空系统示意图 图2-2分量玻璃阀

1—高真空阀门;2粗抽真空阀;3—机械泵；放气阀;4一前级真空阀门;5一压力调节阀;6—扩散泵;7一真空容器;8机械真空泵