表面残留污染物，灰尘和颗粒，等离子清洗机可以清洗掉吗？

表面残留污染物，灰尘和颗粒，等离子清洗机可以清洗掉吗？答案是等离子体清洗属于干式清洗，可以清洗掉肉眼看不见的表面污染物；

一般来说，表面有污垢.有机污垢和氧化层，在粘结过程中，胶粘性和附着力都比较差，需要借助等离子清洗技术进行表面清洗活化处理，可以获得完全清洁和无氧化的表面。为什么说等离子表面清洗技术是不可或缺的一个过程，接下来我们一起探究一二！

等离子体清洗不同于传统清洗，传统的清洗方法通常有几纳米到几十纳米厚的残留物。随着对精密加工工艺的要求越来越严格，这些残留物往往会对工艺和产品的可靠性产生不利影响。

通常有两种主要的材料表面污染物来源，外来分子和表面自然氧化层通过物理化学方法吸附在表面：物理吸附的外来分子通常可以通过加热来解决和吸附，而化学吸附的外来分子需要相对较高的化学反应过程来分离材料表面；

等离子清洗技术可以有效地处理上述两种表面污染物。在处理过程中，首先需要选择合适的气体处理方法。氧和氩是等离子体表面清洁过程中最常用的工艺气体。

在等离子体环境中，氧气可以电离产生大量含氧的极性基团，有效去除材料表面的有机污染物，有效改善材料的组合。

氩可以在等离子体环境中产生氩离子，利用材料表面产生的自偏压力溅射材料，消除表面吸附的外部分子，有效去除表面金属氧化物。

等离子清洗机也广泛应用于晶圆等芯片表面封装处理，等离子清洗技术可以增强引线键合和表面密封性，可以去除表面无机物，还原氧化层，增加铜表面粗糙度，提高产品可靠性可以显著降低有机化学和耗材的消耗，保护生态环境，降低机械设备的生产成本。