半导体生产用纯水设备需要定期清洗的部件有哪些

　　半导体生产用纯水设备需要定期清洗和维护，否则会影响设备的正常使用，下面为您详细讲解半导体生产用纯水设备都需要定期清洗哪些部件?

　　1、在夜间停机时，可利用作为原水的自来水对石英砂过滤器及活性碳过滤器进行反洗。因为具有一定的压力自来水，仍可通过加压水泵泵体及回流阀进入砂滤器及活性碳过滤器。

　　2、根据原水水质及设备运行情况，可按照用户的需要，设定全自动软水器的运行周期和时间。

　　3、石英砂过滤器或活性碳过滤器内的石英砂或活性碳，建议一年左右或半年左右彻底清洗更换一次。

　　4、精滤器，每周排水一次，精滤器内的PP滤芯，每1至3个月清洗一次，可拆卸拧下外壳，取出滤芯，用水冲洗干净后重新装入即可。

　　5、若不是因温度和压力的因素而引起的产水量逐渐减少15%时，或水质逐渐下降超标时，则说明半导体生产用纯水设备中的反渗透膜需要进行化学清洗。

　　以上为您介绍的就是半导体生产用纯水设备需要定期清洗的部件，希望对大家有帮助。