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晶圆超纯水设备使用前有哪些注意事项

发布于:2019-12-25 15:47:25 来自:环保工程/水处理 [复制转发]

  晶圆超纯水设备在使用之前我们要做好充足的准备,以确保设备能够安全稳定的运行,下面为您详细讲解晶圆超纯水设备使用前有哪些注意事项?

  1、自备一套余氯比色测定计。目前所使用的晶圆超纯水设备的膜多为低压的聚酰胺膜,该膜在使用中不耐氯,尤其在重金属离子的作用下,易氧化造成永久性的损坏。自来水多含重金属离子,在活性碳失效后,极易损坏膜。自来水余氯和有机物的含量是变化的,仅仅靠计算和估计是不够的,活性碳的失效要以测试为准,这样既可避免过早更换的浪费和过迟更换引起的膜损坏。该比色计的价格便宜,操作也方便。可在计算的更换期前10d开始每天测定。

  2、需要一份当地自来水的水质报告。虽然国家有一个自来水标准,但各地的自来水是不同的。可以从自来水公司获得近期的水质报告,在购买晶圆超纯水设备时提供给设备厂商。

  由厂商根据水质报告中的余氯计算确定活性碳的大致更换周期,根据水质报告中的钙、镁等离子的浓度计算确定回收率的范围、可能的污染及清洗的方法。

  3、安装晶圆超纯水设备时应预留清洗和保养的进出口。由于一体化设备无阻垢剂投加系统,结垢是难免的,加上运行中可能会出现微生物和胶体等污染,因而清洗是必须的。

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