晶圆超纯水设备中EDI模块可能出现哪些故障

　　晶圆超纯水设备中EDI模块可能出现哪些问题?下面我们详细说明：

　　1、超纯水设备中的EDI模块在长期在大电流小流量的情况下运行，导致积聚的热量不能够散发，而造成EDI接近两极的膜片发热变形，浓水压差增大，而水质水量就会不同程度的下降。

　　2、手动运行时，在缺水状态下加电，直接导致膜片和树脂的发热碳化，清洗无效，无法使用。

　　3、当晶圆超纯水设备停机时，没有对EDI模块采取保护措施，以及运行过程长期不做保养，导致EDI的膜片和通道滋生有机物，进出水压差增大，造成产水水质下降，电压上升，电流无法调节，最终无法使用。

　　4、EDI模块长期没有保养，膜片和通道结垢，进出水压差增大，也会造成产水水质下降，电压上升，电流不能调节，导致最后无法使用。

　　5、EDI进水前无保安过滤器，直接导致异物堵塞EDI通道，进出水压差增大，造成产水水量严重下降，清洗无效。

　　6、电流电压超出额定值或操作失误，系统维护管理不当，没有遵守晶圆超纯水设备中EDI的使用条件。