产生臭氧的主要原料气为氧气，一般气源都采用洁净空气、氧气以及含有氧和其他惰性气体的混合气体，因此气源中的含氧量、气源的流量、气源的露点，气源中的杂质含量等因素都直接影响臭氧产量
气源中氧的含量 由于空气中的氧的含量大约是21%，人们可以预料用空气产生臭氧的比能大约要比纯氧气产生时差5倍。事实上，为产生实际有益浓度所需的电能大约只有用氧气时的2倍。
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臭氧发生器采用氧气源好处臭氧发生器采用氧气源好处： 臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。 1． 氧气源使臭氧出口浓度提高8-10倍。空气源臭氧发生管出口浓度最高为9-11mg/L,最低小于1mg/L。而采用氧气，出口浓度可达80-130mg/L。 2． 氧气源使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些细菌病毒用空气源臭氧很难杀死，采用氧气源臭氧就很容易杀死。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化。
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