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级(0.1μm)洁净室摘要 介绍1级(0.1μm)(相当于ISO/TC209 1.5级)洁净室的计算、系统布置形式、新风特殊处理和控制方式。关键词 1级(0.1μm)洁净室 系统布置 新风处理 控制1 工程概况 该生产厂房为长216m、宽93.5m的单层(局部二层)建筑;生产区为单层(称其为生产层和上、下技术层),面积为12312m2;支持区为两层建筑,面积为15984m2。其中1级(0.1μm)的净化面积为3332.2m2,100级(0.5μm)的净化面积为875.8m2,1000级的净化面积为8764.8m2。1级(0.1μm)洁净室室内参数全年保持23±1℃、45±10%。本文着重介绍1级(0.1μm)洁净室的净化设计。
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