真空电子器件生产线设备安装技术规范（征求意见稿）2017

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1．总 则 8
2 术 语 9
3 基本规定 11
3.1 一般规定 11
3.2 工艺流程 16
3.3 主要设备构成 20
4 工艺设计 22
4.1 表面处理及热处理 22
4.2 装配 24
4.3 排气 26
4.4 老炼检测 27
5 设备安装工程施工 30
5.1 一般规定 30
5.2 安装条件 30
5.3 设备开箱 31
5.4 设备搬运 32
5.5 设备安装 33
5.6 重要设备的安装案例 35
5.7 二次配管配线 38
6 设备调试与试运行 41
6.1 一般规定 41
6.2 设备调试与试运行 41
7 工程验收 43
7.1 一般规定 43
7.2 交接验收 43
7.3 自动化生产线联线验收 46
7.4 生产线验收 48
7.5 验收不合格的处置 49
附录A: 工程施工工艺条件 50
附录B: 工程质量验收记录用表 53
附录C: 主要真空电子器件生产线设备单机试运行和验收 61
C.1 清洗设备设备 61
C.1.1 碱液去油设备 61
C.1.2 酸洗设备 61
C.2 镀覆设备 62
C.2.1 镀银设备 62
C.2.2 镀镍设备 63
C.2.3 电泳设备 64
C.2.4 真空溅射镀覆设备 64
C.3 真空炉 65
C.4 X射线实时成像检测系统 66
C.5 激光焊接机 68
C.6 氩弧焊 69
C.7 高频感应钎焊炉 69
C.8 氦质谱检漏仪 71
C.9 高真空排气台 71
C.10 电子管老炼设备 73
C.11 工频高压老炼设备 73
C.12 电流老炼设备 74
C.13 电子管测试设备 75
C.14 真空开关管真空度测试设备 76
C.15 工频耐压检测设备 77
C.16 雷电冲击耐压测试设备 78
C.17 真空开关管接触电阻测试设备 79
C.18 氢炉 80
引用标准目录………………………………………………………….82