软件简介:
国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。
ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成:
第1部分:空气洁净度等级划分
第2部分:为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求
第3部分:计量和测试方法
第4部分:设计、施工和启动
第5部分:运行
第6部分:术语和定义
第7部分:增强的洁净装置
附件名:200712241198457244347.rar
文件大小:29K
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