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动力燃气系统
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遇到了一点小问题
内容不能包含下列词语
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只看楼主 我来说两句-
shuijingxinsj
沙发
对于工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。
2008-04-24 15:41:24
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-
biexiaocn
板凳
谢谢楼上的，但是电子厂和医药厂大多数要求比第4条还高，如-70度0.1um。用不锈钢是肯定的，但是不锈钢等级也很多，这个怎么用有规定吗？不然我都用304AP的了，还用那些高档昂贵的干什么。
2007-12-12 22:06:12
赞同0
加载更多对压缩空气而言，由于其并不作为制程中的反应气体，可以选用经光辉烧结（Bright Anneal）处理的316L不锈钢管，即SS316L BA管，也可以采用经化学清洗（Chemical Clean）处理的316L不锈钢管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6微米。主要是根据跟对管材的Ramax的要求决定的。
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