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      光刻室的防震这么处理？

      发布于：2007-12-06 22:04:06 来自：暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
      光刻室的防震这么处理呢？ 光刻机这么防微振？ 部分高架地板要做在防震平台上吗？ 而且防震平台那有卖的呢 ？ 请指教
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      只看楼主 我来说两句
      • jack1027
        jack1027 沙发
        基本上機台不太能放到高架地板上要用獨立防震架台
        防震架台也是需要依不同機台去計算設計製造
        安裝時架台要跟高架地板完全斷開
        但是防震架台不是萬能
        如果主體結構出問題防震架台再厲害也沒用要從主結構加強起才有用
        2008-01-10 19:21:10

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      • thegood
        thegood 板凳
        估计会很麻烦 ！！可能光刻机基础要做防震！！
        2008-01-10 16:36:10

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      xuehexue
      这个家伙什么也没有留下。。。

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