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请教该加什么样的超滤我公司有一台纯水设备，用于晶圆和芯片制造，工艺对纯水中颗粒的要求极高，需要达到美国半导体行业超纯水一级标准（粒子数/L 0.1um-0.2um，@<1500、0.2um-0.3um,@<800、0.3um-0.5um，@<800、>0.5,@<1）,这样的要求必须加超滤才能达到了，请问下各位大侠需要加什么等级的超滤？哪个品牌在半导体行业，芯片晶圆加工制造行业用的比较多？最好是有行业认证的哪种！
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只看楼主 我来说两句-
lele131400
沙发
请问最后是什么原因吗？我也遇到这个问题了，谢谢
2018-11-17 14:23:17
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自渔自乐
板凳
除了泵的出口要装止回阀，还要考虑下程序问题，高压报警停高压泵，增压泵得延时停。至于高压报警估计是膜污堵了，重新设置报警压力或者化学清洗。
2017-02-21 10:19:21
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