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净化空调系统、洁净室的运行管理一、保证洁净室内要求的空气温度和相对湿度在洁净室内,如果空气温度过低,不便于工作的正常进行;如果温度过高,则会使室内工作人员产生过多的汗液,汗液挥发成微小粒子进入空气中,从而增加了洁净室内空气中含尘粒数,进而使其洁净度级别的所下降,无法保证工艺条件的要求。洁净室内相对湿度的过低,由于室内空气的过分干燥而使室内设备、用具、以及洁净室的结构表面的覆盖层更容易脱落,变成粒子状进入洁净室的空气中,增加空气的含尘量。如果洁净室的相对湿度过高,则会使室内空气中的一些微细粒子在运动中发生碰撞而粘着,凝聚成稍大一些的尘埃粒子,从而使室内计数尘埃粒子数增加而破坏原有的洁净度级别。室内相对湿度的过高,一些零件会生锈并产生一系列问题。
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