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成套电气设备
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电子器件静电损伤的失效形式及其他防静电方法?电子器件静电损伤的失效形式及其他防静电方法? 对于易受静电放电损坏的微电子器件(或是组件)称为静电放电敏感器件。其在静电放电影响下发生的失效形式有以下几种: 突发性完全失效突发性完全失效是器件的一个或多个电参数突然劣化,完全失去规定功能的一种失效。通常表现为开路、短路以及电参数严重漂移。这种失效一般分为两种:一种是与电压相关的失效,如介质击穿、PN结反向漏电流增大等;另一种是与功率有关的失效,如铝条熔断、多晶电阻熔断、硅片局部区域熔化。对于结型器件,通常是与功率有关的热效应引起器件损坏。损伤部位往往是在PN结边缘的si—siO,界面或接触孔边缘处发生。因静电放电引起的局部高温区,会造成杂质微扩散,形成的杂质管道导致PN结严重漏电和电流增益显著下降。
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