求助：半导体材料清洗废水处理方面资料

硅片电器元件采用硫酸、氢氟酸、盐酸、硝酸酸洗后，再用纯水清洗和氨水、双氧水氧化，最后用纯水洗，现在想了解排放废水中主要污染物都是那些，浓度小，废水处理技术等方面资料，请做过相关废水的给说说，谢谢！