Clean Room微污染控制

Clean Room微污染控制

2007年09月19日　　　　
微污染控制 洁净室洁净程度的维持和控制，除了硬件设备配合投资外，也需要良好的软件--管理制度来配合，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80％，如图8-1所示。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因，人是主要因素。


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　　洁净室运转管理 洁净室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划（Planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作（Action）之PDCA循环步骤执行。

（一）． 作业人员之管理 前已提及在洁净室内污染来源80％来自作业人员，因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减少大半。现就进入洁净室的作业人员管理和注意说明如下：

（1）进入洁净室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态的观念。

（2）作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为原则（愈小愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室，如图8-3所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室脱尘处理。


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（8）下列所述者不能进入洁净室：
①非作业人员或事先未得许可证者；
②未照规定穿着洁净衣者；
③刚做剧烈运动流汗者；
④吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。图8-4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍，直至30分钟后才降至约15倍此为为何洁净室禁止吸烟人员和吸烟未满30分钟不准进入的原因所在。故针对在洁净室作业人员的招募，若能选择不吸烟者为对象，将可带来很大利益。

（9）如有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净室：
①因日晒、湿疹而皮肤有问题者；|
②对化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性体质者；|
③容易出手汗者；
④比一般人皮肤表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者；
⑤化妆或涂口红者；
⑥有重大精神病、神经过敏或闭锁恐惧者；
⑦因哮喘常咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。

但对于下列性格的人，则最适宜进入洁净室工作：

①做事细心而有耐性者；
②勤于整理整顿，经常自己注意身边清洁的人；
③经常留意自己健康者。

（10）以下物品不能带进洁净室：
①没有经过清洁过程的器材、零件备品、测定器等各种物品；
②纸箱及未经特别处理的记录或笔记用纸、影印资料等；
③铅笔、橡皮擦、墨水等；
④香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等；
⑤作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其他个人物品等 洁净室洁净度维持最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员数目、行动状态、进出规则制定与执行，提高洁净室内作业人员洁净意识，反复教育，均为必须，表8-3所示为因作业人员行动而产生污染的增加倍率。

（二）. 原材料、设备进出管理

除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。


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　　原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000 级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5％浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。

（三）.清洁室内用品管理

清洁室内用品除了进出洁净室用的 洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具 桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记 本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。

　 洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者 为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛或脸表面部分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，布质部分则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Vinyl），在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。 洁净衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μ m过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区（如Class 1）为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。