大面积ISO 6级顶送顶回非单向流洁净室工程案例

本帖最后由 liyunlan003 于 2013-2-26 20:14 编辑

•一、工程概述
•深圳赛意法集成电路有限公司封装工序洁净厂房是我国第一个大面积1000级4300m²的顶送顶回的气流流型洁净厂房的成功实例。
•同时它还是：国内个别学术权威所说的顶送顶回气流流型是不会做净化空调的人设计的工程实例。
•信息产业部第十一设计院设计大师王唯国 推荐十一院净化空调设计人员，要认真学习赛意法设计的精髓和大手笔创造工程实例。
•赛意法外方总裁称深圳赛意法的封装厂方是他们跨国公司最优秀的后工序封装厂房。
•也是在连续运行二年后动态测试洁净度<400个/ft³，产品成品率高达99%的后工序净化厂房。
•赛意法公司的第二期工程（十院设计）和第三期（十一院设计）完全套用了第一期工程的顶送顶回的气流流型。
•在2005年西安交大黄淑娟教授带领多名博士生运行先进（美国引进）的 CFD数字模拟方法,从理论上证明了顶送顶回的气流流型是正确的和可行的。该实验结果的论文，在2007年国际污染控制年会的交流大会上发表。
•后来在我国“洁净厂房设计规范”的修改中肯定了顶送顶回是一种非单向流的气流流型。
1．工艺要求的各种参数：


二、问题的起因
•在与外方的设计联络会上，外方总裁要求该洁净厂房在净化空调系统的布置时一定要方便工艺设备的摆放，下部不能有回风口。因厂房宽度为48M，中间只有一排柱子，利用柱子回风很难解决气流的均匀问题，外方提出：他们意法跨国公司的后工序（封装）洁净厂房的净化空调系统都是采用顶送顶回的气流流型，深圳的封装厂房也不例外一定要做成顶送顶回。
•作为一个中国的设计人员不能给中国人丢脸，不能说不会做。只能说我们也可以做。但是压力确实很大，顶送顶回的气流流型过去我们没有做过，1000级洁净度洁净仓房的顶送顶回的气流流型就更没有做过。4300m²大面积更是破天荒的。为此我们查阅了大量的美国、日本和韩国的有关资料和文献.设计时我采取了如下多条措施来保证洁净厂房的洁净度和温湿度，并且做到方便施工﹑调试和运行，努力做到一次成功。

三、设计中采取的措施

•换气次数为 50次/h。顶送风口两排为一组然后插入一排回风口。为了方便施工安装和调试设计时，采用大型稳压静压箱，其尺寸为 3.0 m×3.5 m×30 m。
•结果调试时风口阀门很少调节，远近各风口出风速度相当均匀。
•1．为了防止气流短路：
•送风口孔板出流风速设计为5m/s，回风口出流风速设计为2.5m/s。
•送风口孔板开孔率15%，回风口孔板开孔率30%。
•送风口和回风口扩散板之间相对的斜面上不开孔。

四、最后的测试结果
•从设计到施工用一年的时间（包括土建工程的总建筑面积20000m²）到1996年竣工验收测试是由施工单位，设计单位（即总承包单位）和建设单位三家联合进行，采用三台大流量计数器对空态的洁净车间进行洁净度的测试，其洁净度为24.7个/ft³比1000级提高40倍。测试的房间温度为23±0.3℃，相对湿度为50±3%，所有的参数都优于设计的要求。 •在连续运行两年后的1998年，我们进行了设计回访并索取了甲方平时检测记录，纪录的数据表明，车间动态洁净度为159~365个/ft³，车间温度为22.5±0.5℃，车间相对湿度为50±3%，生产的产品成品高达99%。赛意法外方总裁说深圳的封装洁净厂是以意法（意大利和法国）跨国公司里最优秀的后工序厂房。
•但是请大家注意，洁净厂房的气流流型还是顶送下回，顶送侧下回为好。除非工艺不允许下回或下侧回时，才考虑其他类型的气流流行。


转载自 中国洁净室网
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