真空镀膜设备的坏境要求与光密度检测

由于真空镀膜设备是在真空条件下工作，因此设备需要满足真空对环境的要求。各种真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都对环境要求有明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使真空镀膜设备正常运转，加上给真空镀膜机安装在线检测设备---光密度在线检测仪，方能保证生产出优良的镀膜产品。

真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。

如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周知；油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。

工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合，而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体，凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准，从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门，也适合于真空对洁净环境的要求。

此外，真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道（金属、橡胶管）的办法，将气体排出室外。

真空镀膜设备为什么要通过透光率光密度来作为标准？它直接影响到镀膜产品的视觉效果和灵敏性。大多数物品是多层的复合薄膜，仅用透明一点来概括它的视觉效果是不够的，决定它还有另外三个特性：色彩失真度、反光性和清晰度。

光密度是入射光与透射光比值的对数或者说是光线透过率倒数的对数。其中透过率就是指可见光的透过率，也就是透光率。而光密度在线检测仪通过测试光谱中的可见光透过率以及红外线、紫外线透过率的原理来工作。所以给真空镀膜机（真空镀膜设备）安装上光密度在线检测仪通过生产在线连续监控既能保证镀膜生产线的镀膜品质，又能提高真空镀膜设备的工作效率。