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超纯水系改进可以从哪些地方入手?超纯水在25C时，电阻率为10MS2-cm以上，通常靠近18MS2-cm，极限位抵达18.25MS2-cm。为了抵达如此水质，有必要经膜过滤与棍合床等终端精处置。在半导体作业，超纯水处理通常用于湿制程(WetProcess)上，因为在湿制程处置进程所运用水质直接关系到产物质量，运用超纯水传统的处理设备，不仅不能处理掉污染，反而会加重污染，因此优化现有超纯水处理系统显得迫不及待。超纯水处理体系设n卞要涉及到工艺流程、设备和作业成木。在半导体作业，水质的好坏直接影响到产物的不良率。超纯水处理体系设亡的中心的在包管安稳的水质的条件卜，优化流程，下降成木。在设亡体系时应在水质、工艺流程和成木之间找到一个最优化的平衡点。体系优化能够从以卜几个力一irn着手。
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