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水处理
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工业生产中的芯片生产废水处理技术工业生产中的芯片生产废水处理技术 一. 芯片废水来源: 集成电路芯片制造生产工艺复杂,包括硅片清洗、化学气相沉积、刻蚀等工序反复交叉,生产中使用了大量的化学试剂如HF、H2SO4、NH3H2O等。 二. 芯片废水分类 将生产废水处理分为:含氨废水处理系统、含氟废水处理系统、CMP研磨废水处理系统及酸碱废水处理系统。 2.1 含氨废水处理系统 含氨废水有两部分,一部分是浓氨氮废水,主要含氨氮和双氧水,氨氮浓度达400~1200mg/L;另一部分是稀氨废水,主要含氟化氨,氨氮浓度低于100mg/L。
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只看楼主 我来说两句 抢板凳