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MOCVD全名叫有机金属化学气相沉积设备工业和资讯化部近期发布的《高端装备制造业“十二五”发展规划》提出,到2015年,高端装备制造业销售收入超过6万亿元人民币(下同),在装备制造业中的占比提高到15%;到2020年,高端装备制造产业销售收入在装备制造业中的占比提高到25%。科技部发布的《半导体照明产业“十二五”规划》中也提出,到2015年,大型MOCVD装备、关键原材料将实现国产化。 MOCVD全名叫有机金属化学气相沉积设备,是LED外延芯片制造的关键核心设备。这一设备长期以来被欧美两大公司(德国AIXTRON和美国VEECO)垄断。MOCVD设备是中国半导体照明产业发展的瓶颈,也是业界“心中的痛”。LED产业主要依赖于MOCVD设备,它与半导体产业极其相似,都是设备领先,大陆把攻克MOCVD设备当成LED产业“十二五”规划中的重中之重。有资料显示,截至2011年年底,大陆有近20家企业在研发MOCVD设备,并且部分企业已经有了一定进展。今年4月南昌黄绿照明公司依讬南昌大学、国家矽基LED工程技术研究中心,经过多年的努力,成功推出自主智慧财产权的生产型GaN基MOCVD设备。这可以说是真正意义上的中国自主研发制造的可以应用于大生产线的生产型设备。国产设备有优势,但在推广中也存在不少问题。如何使国产高端装备实现线上使用“零的突破”,需要研制者(设备供应商)、使用者(外延芯片制造企业)、政府相关主管部门的大力支持与通力合作。
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只看楼主 我来说两句 抢板凳