如何确定FAB洁净厂房的新风量？

我看过其他行业的人士对洁净厂房新风量确定的各种说法，感觉五花八门，好像都有理。

那我以“FAB洁净厂房新风量的确定”为题，来谈谈半导体芯片厂HVAC设计区别于其他产业的地方。

经验公式:FAB新风量＝工艺设备总排气量＋加压风量（相当于一次换气次数的风量）。

看看上式好像十分简单，里面的道理却不少。详细解释下次再细述。