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半导体FAB洁净度与换气次数的关系(经验值)

发布于:2006-09-17 12:13:17 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
半导体FAB洁净度与换气次数的关系(经验值)

FS 209D CLASS 换气次数(次/h) 过滤器配置
1 420 100%
10 360 100%
100 200 56%
1,000 35 10%
10,000 25 7%
100,000 15 4%

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全部回复(20 )

只看楼主 我来说两句
  • liqiangsc
    liqiangsc 沙发
    以下是引用chenzeang在2007-07-13 17:26:27.0发表的内容:
    hhnec对半导体行业很熟啊,我在半导体技术天地http://www.2ic.tw/ 上就经常看到你的贴子,在这也有你不少贴子啊,希望多交流啊。
    2007-09-18 13:19:18

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    赞同0
  • hubeixp
    hubeixp 板凳
    学习了
    2007-09-03 14:49:03

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    赞同0
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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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