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      SST传感器应用于nm级半导体光刻机

      发布于：2011-08-30 10:11:30 来自：电气工程/电气资料库 [复制转发]
      论文简介：



      SST系列倾角传感器成功通过近2年的试验，并半导体光刻设备被认可。

      500nm/650nm工艺器件量产的i/g-线步进投影光刻机设备书属于精密设备，对传感器的精度要求相当高，包括重复性、稳定性、可靠性等。SST倾角传感器的成功应用，表明辉格科技在倾角传感器的技术能力达到一个新的高度。





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      shvigor
      这个家伙什么也没有留下。。。

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      shvigor
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