洁净室技术应用热点问题（转贴）

对当前较被关心的问题，如洁净室的气流速度的确定，FFU系统的应用及悬浮分子污染控制，进行情况归纳和分析。
Some viewpoints on concerned cleanroom airflow velocity/Air exchange rate,FFU systemand airborne molecular contamination are summarized and analyzed.

一.前言
洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论；FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染（AMC）的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。

二.气流速度
2.1有关推荐或参考值的应用
洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：
(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；
(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；
(3)自净时间（恢复时间）的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度；对自净时间的控制要求取决于此时间框架内（恶化的洁净度下），对产品生产的质量及成品率影响的承受能力；
(4)末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较高效率的过滤器以降低气流速度；为节能应考虑采用较高效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积最小；
(5)经济性考虑：过大的气流速度造成投资及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果；
(6)对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。
以上因素，皆很难量化，只能分析对比并估计。因此在工程应用中，对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值，再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。
气流速度用于单向流洁净室；非单向流洁净室宜用换气次数，因为其气流速度难于测准；亦有用末级过滤满布率来反映的，可用于各种气流流型的洁净室，一般满布率100%相对于流速0.5m/s（100fpm），25%相对于0.125m/s（25fpm）。当前有关规范、导则等的推荐或参考值见表1。
注：1、ISO 14644-4 对于气流速度/换气次数是明确作为参考资料的，表中所列仅适用于微电子及IC工厂；对制药厂只列ISO 5 级气流速度>0.2m/s，对ISO6～8级皆未列出参考值。
2、（M）指混合流，N指非单向流；*指对污染源已采取有效的隔离措施的洁净区。