请教： LED厂房清洗车间洁净度偏高

请教各位大哥帮忙
基本条件如下：
LED新建厂房 芯片清洗车间。
1.空调设计为 MAU+RCU+HEPA
MAU采用初效+中效（初效G4 90%+中效滤网F7 70%-80%）
RCU里面放有高效.
送风口是HEPA
2.MAU新风量：8553CMH
3.RCU风量： RCU:12000CMH
4.HEPA风量：2000CMH*8=16000CMH
5.排气风量：合计7312CMH
6.换气次数：12000/(11.9*5.4*2.8)=12000/180=66次
7.正压换气：(8553-7312)/(11.9*5.4*2.8)=1241/180=6.8次/H

以上无论从换气次数，还是正压都达到了1000级无尘室的设计标准，但是量测洁净度就是超标：2000-20000.
请前辈们或有LED经验的高人指导。
谢谢！