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三、氣流平行度量測
1‧測試目的

平行度量測的目的，是觀察在工作區域裡面氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度量測應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的數據，結果是重測。\r
2‧測試方法
一般而言平行度的量測，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。在無塵室裡面一般不使用煙霧，因為煙霧所含微粒太多，恐怕會造成污染。乾冰加熱水可以製造水霧，水霧對半導體是無污染，但是在製藥廠或生化無塵室，又怕細菌會粘著，因此也有缺點。PFA是polyfunctional alcohol（多功能酒精？），是一種水性溶液，基本上是水加染料，然後用超音波打成水霧，釋放出之後就形成可見霧氣。
煙霧或水霧的共同優點是只要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。量測平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。
另一種方式是使用輕質細線，讓細線隨風飄舞，然後測量氣流平行度。在早期由於棉線比較重，因此只有在風速很強的地方才能使用。無塵室的風速較低，恐怕吹不動棉線，平行度根本無法量測。在無塵室內普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所製成，由於質量很輕因此適合作無塵室平行度量測。

測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然後在濾網下方施放煙霧或是安放細線，之後觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是量測細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。

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