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小流量气体质量流量计的简介mf5000系列小管径小流量气体质量流量计产品用于各类工业气体测量和生产过程控制。这类小流量气体质量流量计均采用美国矽翔微机电系统有限公司自主研发的微机电系统(mems)流量传感芯片来制作。本小流量气体质量流量计产品适用于各类清洁气体的应用;可用于各类管径(1-22mm);易安装、无需温度压力补偿、压损小;采用直接进行气体测量,可替代传统旁路热式或压差原理的流量计,并可配以多种信号输出,通过通讯接口实现网络管理功能。
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