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论文·等离子清洗的应用与技术研究

发布于:2010-08-03 11:53:03 来自:环保工程/节能技术 [复制转发]

1 引言

等离子清洗的应用,起源于世纪初,随着高科技产业的快速发展,其应用越来越广,目前已在众多高科技领域中,居于关键技术的地位,等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大,首推电子资讯工业,尤其是半导体业与光电工业。等离子清洗已应用于各种电子元件的制造,可以确信,没有等离子清洗技术,就没有今日这么发达的电子、资讯和通讯产业。此外,等离子清洗技术也应用在光学工业、机械与航天工业、高分子工业、污染防治工业和量测工业上,而且是产品提升的关键技术,比如说光学元件的镀膜、延长模具或加工工具寿命的抗磨耗层,复合材料的中间层、织布或隐性镜片的表面处理、微感测器的制造,超微机械的加工技术、人工关节、骨骼或心脏瓣膜的抗摩耗层等皆需等离子技术的进步,才能开发完成。
等离子技术是一新兴的领域,该领域结合等离子物理、等离子化学和气固相界面的化学反应,此为典型的高科技产业,需跨多种领域,包括化工、材料和电机,因此将极具挑战性,也充满机会,由于半导体和光电材料在未来得快速成长,此方面应用需求将越来越大。


2 等离子清洗技术的原理

2.1 什么是等离子体
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在,如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态,又称位物质的第四态。
等离子体中存在下列物质。处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。


……………………

[ 本帖最后由 jiuwolia 于 2010-8-3 11:55 编辑 ]

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全部回复(3 )

只看楼主 我来说两句
  • salamisi
    salamisi 沙发
    谢谢楼主分享
    2010-12-15 16:35:15

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    赞同0
  • kangsitanding1
    这是一个全新的领域,技术发展前景非常不错。
    2010-12-13 11:40:13

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    赞同0
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这个家伙什么也没有留下。。。

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