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晶园车间的洁净主要要求是?

发布于:2005-11-01 12:53:01 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
这个我是不懂,所以大家尽管说。

全部回复(18 )

只看楼主 我来说两句
  • angelo_yu
    angelo_yu 沙发
    晶圆,英文名字是Wafer,其对洁净室洁净等级的要求是随着晶圆集成度的提高而提高。也就是楼上所说的6寸、8(200mm)寸、12(300mm)寸。上海淞江台积、苏州禾舰(台湾称联电)、上海中芯国际、上海宏力半导体、上海贝岭、华虹NEC、Intel、苏州联建等都是晶圆Wafer生产厂家,他们对洁净室洁净度都有很高的要求。百级、十级、1级甚至点1级,不过那都是局部的。
    2005-11-11 18:37:11

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  • liulovelb
    liulovelb 板凳
    本人在手上有一个六寸的晶圆厂房,最高的等级才为百级
    2005-11-11 16:20:11

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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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