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求助:寻求芯片洁净厂房(100级以下)施工资料从芯片制造工艺来看,主要有以下6方面的质量要求,但我没有实施过,不知道从施工的角度如何来达到这些要求,请专业人士提供高见,谢谢!!1,空调系统中洁净度2,超纯水3,纯气4,温、湿度5,静电6,电稳定我是学电的,在洁净厂房施工中,1,静电和电稳定有什么特殊的要求,应如何控制(特别是由气流摩擦产生的在空气中游离静电有什么控制措施没有)?2,对尘的控制有些什么措施?我看了《洁净厂房设计规范》2001版,对电气和静电要求也不高,但那规范只写了静电接地在0。5欧以内,但没有写气流静电的处理,没有涉及到施工的内容,能传一份《洁净厂房设计与施工》规范给我吗,我在书店没看到有卖。
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嗨!我看不止30%吧!不过题目还有一个是:甲 乙 丙 丁
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