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晶片氧化

发布于:2010-03-24 15:48:24 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
万级半导体洁净房间,高效送风口下面设备上的晶片容易发生氧化,目前我采用的是四周散流中间圆孔的散流板送风,现在发现在风口正下方的设备,垂直风容易直接吹到设备上造成氧化,请问有什么其它形式的散流板解决这个问题,请高手指点,谢谢!

全部回复(8 )

只看楼主 我来说两句
  • 鸭江绿水
    鸭江绿水 沙发
    奥,属于整机部分。键合工艺我不了解,无法帮您。我是芯片厂的,即使是扩散炉出来的片子也没有遇到过此类问题。
    2010-04-02 20:41:02

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  • huarunxinshou
    huarunxinshou 板凳
    情况发生在键合间,由于那边发热量特别大,所以送风温度比较低,最低在12度左右,风速在合理范围内。
    2010-03-31 16:00:31

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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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