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洁净空调系统
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各位大侠，向大家请教一下半导体行业有什么要求，对洁净室有什么要求？对洁净室内的净化设备（如FFU）有什么要求？先多谢了
遇到了一点小问题
内容不能包含下列词语
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只看楼主 我来说两句-
bjvts
沙发
对stocker顶部的FFU，满布，直流，且这个FFU是安装在T-BAR上的，不和stocker有任何连接，效率且为
0.3um@99.999%，最好把风速开到最大0.45m/s
2010-05-18 14:02:18
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-
whanm
板凳
对于STOCKER的FFU布置所碰到的案例，顶部FFU有满布的，也有50%分布的。过滤器有用H13，也有U15的。个人觉得够用就用，不求最高标准
2010-05-11 19:31:11
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加载更多对于侧面的FFU吗，说法就很多了，第一要求厚度不能太厚，第二风量更大，第三震动更小
stocker是装玻璃或者TFT半成品的仓库
[ 本帖最后由 bjvts 于 2010-5-18 14:03 编辑 ]
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对于振动要求个人觉得如果顶部FFU不是STK自带的，也就是说FFU跟STK不在一个整体上，应该对FFU不会特殊要求，侧面的FFU应该要求要高
STK用的FFU噪音个人觉得更不会有极高标准，应跟洁净室用的FFU一个标准就够了。因为STK内部是呆不住人的
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