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洁净空调系统
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各位大侠,向大家请教一下半导体行业有什么要求,对洁净室有什么要求?对洁净室内的净化设备(如FFU)有什么要求?先多谢了
遇到了一点小问题
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只看楼主 我来说两句对于侧面的FFU吗,说法就很多了,第一要求厚度不能太厚,第二风量更大,第三震动更小
stocker是装玻璃或者TFT半成品的仓库
[ 本帖最后由 bjvts 于 2010-5-18 14:03 编辑 ]
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对于振动要求个人觉得如果顶部FFU不是STK自带的,也就是说FFU跟STK不在一个整体上,应该对FFU不会特殊要求,侧面的FFU应该要求要高
STK用的FFU噪音个人觉得更不会有极高标准,应跟洁净室用的FFU一个标准就够了。因为STK内部是呆不住人的
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