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无尘室运转与维护管理论文简介: 无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,如图1所示。实验数据显示,作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。 附件名:20081161225950105579.rar 文件大小:86K
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只看楼主 我来说两句 抢板凳