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      外延芯片车间的净化空调的换气次数？

      发布于：2008-06-04 13:40:04 来自：暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
      我想请教：1.外延芯片车间的千级为55次/h,万级为25次/h ,十万级为15次/h.
      这样做可以吗？
      净化空调 车间 空调
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      只看楼主 我来说两句
      • crj1314520
        crj1314520 沙发
        没有事来看看，还说我的字太少
        2008-07-05 21:02:05

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      • highair2006
        highair2006 板凳
        换气次数可以的，后续得加上洁净室的清洁及运行管理得当，方能得到一个满意的洁净室，祝成功！
        2008-07-04 15:00:04

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      xyh_1188
      这个家伙什么也没有留下。。。

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