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外延芯片车间的净化空调的换气次数?

发布于:2008-06-04 13:40:04 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
我想请教:1.外延芯片车间的千级为55次/h,万级为25次/h ,十万级为15次/h.
这样做可以吗?

全部回复(8 )

只看楼主 我来说两句
  • crj1314520
    crj1314520 沙发
    没有事来看看,还说我的字太少
    2008-07-05 21:02:05

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    赞同0
  • highair2006
    highair2006 板凳
    换气次数可以的,后续得加上洁净室的清洁及运行管理得当,方能得到一个满意的洁净室,祝成功!
    2008-07-04 15:00:04

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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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