电子厂房的千级净化区 的换气次数是50-60次吗？

兰星星，如果方便的话，我能麻烦你给我发一个外延芯片车间的 净化空调的图纸吗 ，我急需用。
我还想请教：
1.外延芯片车间有千级，万级，十万级 ，4.4米的层高，梁高0.6米，净化区吊顶2.5米，所以可用空间1.3米，这样的话空调风管 能走开吗？
2.对于洁净间开间大于六米的房间需要双侧回风吗？
3.为什么外延车间上方要预留一个3.3的技术夹层，听甲方说是为了放辅助设备，请问能有什么辅助设备？
4.电子厂房的冷冻水7-12度的就可以了吧 ，不用冰水机组吧。
等待你的回复。
我的QQ号是54511255。

空调箱将风送入静压箱，然后再由FFU送入洁净区。千级的洁净室回风往往采用回风墙，把风送回到静压箱，其间会通过干盘管降温。当然也见过千级的洁净室采用MAU，把回风送到空调机组的（而且那个洁净室很小），但运行的情况个人感觉不理想，没有测过。我还是喜欢MAU+FFU+DC的系统。